ASML澄清中芯国际批量购买协议：只与DUV光刻技术有关

ASML澄清中芯国际批量购买协议：只与DUV光刻技术有关se135 3月4日消息，针对中芯国际购买阿斯麦（ASML）光刻机消息，阿斯麦发布公告澄清称，中芯国际根据香港上市规则披露与阿斯麦的批量购买协议，这与DUV（深紫外线）光刻技术的现有协议相关，该协议已于2018年1月

3月4日消息，针对中芯国际购买阿斯麦（ASML）光刻机消息，阿斯麦发布公告澄清称，中芯国际根据香港上市规则披露与阿斯麦的批量购买协议，这与DUV（深紫外线）光刻技术的现有协议相关，该协议已于2018年1月1日签订，最初将一直持续到2020年12月31日，并于2021年2月1日延长至2021年12月底。

阿斯麦称，VPA下的采购订单总额在2020年3月16日至2021年3月2日期间过去的12个月中完成，总计12亿美元。VPA对于ASML而言不是重要事件，但根据香港上市规则，VPA构成中芯国际的可披露事件。

此前晚间，中芯国际发布公告称，今年2月1日，公司与阿斯麦上海签订了经修订和重述的批量采购协议，协议期限从原来的2018年1月1日至2020年12月31日延长至从2018年1月1日至2021年12月31日。根据采购协议，中芯国际已于2020年3月16日至2021年3月2日的12个月期间采购了用于生产晶圆的阿斯麦产品，总价为12亿美元。

值得注意的是，对于这项12亿美元订单包含的产品、机器型号，公司尚未公布，以及未来采购的设备情况也不可知。当前中芯国际正布局先进和传统制程两类芯片，都需要光刻机的支撑。根据公开信息，在芯片制造厂中运用广泛的DUV设备不受国际协议限制，而更为高端的EUV（极紫外光刻）设备受国际协议限制形成了出口管制。

ASML是全球最大的光刻机制造商，光刻机是芯片制造所需的关键设备，其在 45nm 以下制程的高端光刻机（DUV）市场中占有85%的份额，在 EUV光刻机领域则处于绝对垄断地位，市场占有率 100%。EUV能推进更为先进的7nm/5nm芯片，这也是目前中芯国际推进先进制程所缺乏的关键设备。

早在2018 年年初，中芯国际就曾耗资 1.2 亿美元（约合 7.8 亿人民币），向 ASML 订购了一台 EUV 光刻机。原本预计将于 2019 年底交付，但因荷兰政府没有向 ASML 发放新的出口许可证，导致迟迟无法交付。